Για τον έλεγχο ημιαγώγιμων πλακιδίων ή διατάξεων (περιλαμβανομένων των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων) ή για τον έλεγχο φωτοεπικαλύψεων ή δικτύων που χρησιμοποιούνται για την κατασκευή των ημιαγώγιμων διατάξεων (περιλαμβανομένων των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων)